G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 33/20 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)
Patent
CA 2423406
A method for quantifying the texture homogeneity of a polycrystalline material is described. The method involves selecting a reference pole orientation; scanning in increments a cross-section of the polycrystalline material having a thickness with scanning orientation imaging microscopy or other measuring technique to obtain actual pole orientations of a multiplicity of grains throughout the cross-section of the polycrystalline material. The orientation differences between the reference pole orientation and actual pole orientations of a multiplicity of grains is then determined. A value of misorientation from the reference pole orientation at each grain measured throughout the thickness is then assigned. The average misorientation of each measured increment throughout the thickness is then determined. A texture gradient and/or texture banding can then be obtained by determining the first and/or second derivative, respectively, of the average misorientation of each measured increment through the thickness of the sample used for evaluation. A method to predict the sputtering efficiency of a target is also described as well as a system for quantifying the texture homogeneity of a polycrystalline material.
Cette invention concerne un procédé de quantification de l'homogénéité de texture d'un matériau polycristallin. Ce procédé consiste à choisir une orientation polaire de référence, à balayer de manière incrémentielle la section en coupe du matériau polycristallin par microscopie d'imagerie à orientation de balayage ou autres techniques de mesure de manière à déterminer des orientations polaires réelles pour une multiplicité de grains sur l'ensemble de la section en coupe du matériau polycristallin. On détermine ensuite les écarts d'orientation entre l'orientation polaire de référence et les orientations de la multiplicité de grains. On attribue alors une valeur correspondant à l'écart d'orientation par rapport à l'orientation polaire de référence au niveau de chaque grain. On détermine ensuite l'écart d'orientation de chaque incrément mesuré sur l'ensemble de l'épaisseur. On obtient alors un gradient de texture et/ou une répétition de textures par bande en déterminant la première et/ou la seconde dérivée, respectivement, de l'écart d'orientation moyen de chaque incrément mesuré dans l'épaisseur de l'échantillon retenu pour l'évaluation. Est également décrit un procédé de prévision de l'efficacité de pulvérisation sur un cible ainsi qu'une système permettant de quantifier l'homogénéité de texture d'un matériau polycristallin.
Field David P.
Michaluk Christopher A.
Cabot Corporation
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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