C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01)
Patent
CA 2230710
The fixture comprising a first plate (12), a second plate (14) for supporting the substrate (22) during deposition of the material over the substrate, the substrate being supported on a side of the second plate opposite the first plate, a plurality of thermoelectric devices (30) disposed between the first plate and the second plate, the thermoelectric devices being in thermal communication with both the first plate and the second plate, and a device for controlling each of the thermoelectric devices to generate thermal energy sufficient to substantially maintain a desired temperature of the substrate during deposition of the material over the substrate, wherein a portion of the thermal energy is transferred to the substrate by the second plate and a portion of the thermal energy is transferred away from the thermoelectric devices by the first plate.
L'invention concerne un dispositif constitué d'une première plaque (12) et d'une seconde plaque (14) visant à soutenir un substrat (22) sur lequel on effectue un dépôt de matériau, ledit substrat étant soutenu sur un côté de la seconde plaque du côté opposé à la première plaque. Entre la première plaque et la seconde plaque, le dispositif comprend une pluralité d'éléments thermoélectriques (30) en relation thermique avec les deux plaques en question, et le dispositif comporte en outre un régulateur contrôlant chacun des éléments thermoélectriques afin de produire l'énergie thermique qui suffira à maintenir sensiblement le substrat à une température voulue pendant le dépôt de matériau sur ledit substrat. Dans l'opération, une partie de l'énergie thermique est transférée au substrat par la seconde plaque et une partie de cette énergie est évacuée des éléments thermoélectriques par la première plaque.
Foss Richard J.
Harms Michael R.
Neavin Terence D.
Trice Jennifer L.
Smart & Biggar
The Minnesota Mining & Manufacturing Company
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1631154