G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
204/96.07
G02B 5/18 (2006.01) C23C 14/48 (2006.01) G02B 1/12 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01)
Patent
CA 1155797
PRECIS DE LA DIVULGATION Le procédé consiste a transférer un réseau enregistre sur une résine photosensible sur un substrat par implantation ionique permettant de créer des zones implantées dans le substrat présentant un indice de réfraction plus faible que l'indice de réfraction des zones non implantées, et à éliminer ladite résine servant de masque à l'implantation ionique.
380998
Ermolieff Anne
Valette Serge
Commissariat A. L'energie Atomique
Goudreau Gage Dubuc
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1121997