Manufacturing process of high purity silicon bars

Details Manufacturing process of high purity silicon bars Manufacturing process of high purity silicon bars

C - Chemistry, Metallurgy

01

B

23/326

C01B 33/029 (2006.01) C01B 33/035 (2006.01)

Patent

CA 1282225

PRECIS DE LA DIVULGATION: Procédé de fabrication de barreaux de silicium dans un décomposeur par pyrolyse du monosilane alimentant le dé- composeur sur un barreau support qui a été préalablement chauf- fé au rouge, caractérisé en ce que le mélange réactionnel sortant du décomposeur est recyclé en majorité à l'alimentation du décomposeur. Les barreaux obtenus étant utilisables dans l'industrie électronique des semi-conducteurs.

494062

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