H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 31/108 (2006.01) H01L 31/0232 (2006.01)
Patent
CA 2493465
The invention concerns an MSM-type photodetector device for detecting an incident light and comprising, superimposed on a support (1), reflecting means (2) forming a first mirror for a Fabry-Perot resonant cavity, a non light-absorbing intermediate layer (3), an active layer (4) made of semiconductor material absorbing incident light and an electrode grating (5) for polarizing and collecting the detected signal. The electrode grating is arranged on the active layer and consists of parallel strips uniformly spaced by a period less than the wavelength of the incident light, the electrode grating constituting a second mirror for the resonant cavity, the optical properties of said second mirror being determined by the geometrical dimensions of said conductive strips. The distance separating the first mirror from the second mirror is determined to obtain between said two mirrors a Fabry-Perot type resonance for the incident light.
L'invention concerne un dispositif de photodétection de type MSM destiné à détecter une lumière incidente et comprenant, en superposition sur un support (1), des moyens réfléchissants (2) formant un premier miroir pour une cavité résonnante de type Fabry-Pérot, une couche d'un matériau n'absorbant pas la lumière (3), une couche active (4) en matériau semiconducteur absorbant la lumière incidente et un réseau d'électrodes (5) de polarisation et de collecte du signal détecté. Le réseau d'électrodes est disposé sur la couche active et est constitué de bandes parallèles régulièrement espacées selon une période inférieure à la longueur d'onde de la lumière incidente, le réseau d'électrodes constituant un deuxième miroir pour la cavité résonnante, les caractéristiques optiques de ce deuxième miroir étant déterminées par les dimensions géométriques desdites bandes conductrices. La distance séparant le premier miroir du deuxième miroir est déterminée pour obtenir entre ces deux miroirs une résonance de type Fabry-Pérot pour la lumière incidente.
Collin Stephane
Pardo Fabrice
Pelouard Jean-Luc
Centre National de La Recherche Scientifique
Goudreau Gage Dubuc
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1388047