G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 11/16 (2006.01) C01B 9/02 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01L 1/24 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2267976
A strain sensor (50) combines an intrinsic Fabry-Perot interferometer (IFPI) (60) with an extrinsic Fabry-Perot interferometer (EFPI) (56, 62). The IFPI (60) is between two EFPIs (56, 64) and shares its two air to glass mirrors (58, 64). The outside edges (54, 66) of the two EFPIs (56, 64) are connected to an optical fiber (52). The strain sensor (164) can be implemented on a semiconductor chip (150). A waveguide (156) on the semiconductor chip (150) is etched to form two blocks (158) with an island section (162) between them. The two blocks (158) form the EFPI and the center section (162) forms the IFPI. A strain measurement system (100) that takes advantage of the strain sensor (50) has a laser (102) coupled to an optical fiber (106) containing one or more strain sensors (108). A coupler (104) directs the reflected light from the sensors (108) to a tunable Fabry-Perot etalon (114). The output of the tunable Fabry-Perot etalon (114) is coupled to a photodetector (116). A controller (118) monitors the output of the photodetector (116) and controls the tunable Fabry-Perot etalon (114).
Un capteur extensométrique (50) associe un interféromètre intrinsèque de Fabry-Pérot (IFPI) (60) à un interféromètre extrinsèque de Fabry-Pérot (EFPI) (56, 64). L'interféromètre IFPI (60) est disposé entre deux interféromètres EFPI (56, 64) avec lesquels il partage ses deux miroirs (58, 62) formés par la limite air-verre. Les bords externes (54, 66) des deux interféromètres EFPI (56, 64) sont reliés à une fibre optique (52). Le capteur extensométrique (164) peut être mis en oeuvre sur une puce à semi-conducteurs (150). On grave par décapage chimique un guide d'ondes (156) sur la puce à semi-conducteurs (150) de manière à former deux blocs (158) séparés par un îlot (162).Les deux blocs (158) forment l'interféromètre EFPI et la partie centrale (162) forme l'interféromètre IFPI. Un dispositif de mesure des déformations (100), qui tire profit du capteur extensométrique (50), comprend un laser (102) couplé à une fibre optique (106) contenant au moins un capteur extensométrique (108). Un coupleur (104) dirige la lumière réfléchie issue des capteurs (108) vers un étalon de Fabry-Pérot (114). La sortie de cet étalon de Fabry-Pérot (114) accordable est couplée à un photodétecteur (116). Un organe de commande (118) contrôle la sortie du photodétecteur (116) et commande l'étalon de Fabry-Pérot (114) accordable.
Mcdonnell Douglas Corporation
Sim & Mcburney
LandOfFree
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