Superconducting multilayer interconnection formed of oxide...

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 39/06 (2006.01) H01L 23/498 (2006.01) H01L 39/24 (2006.01)

Patent

CA 2084394

A superconducting multilayer interconnection comprises a substrate having a principal surface, a first superconducting current path of a c-axis orientated oxide superconductor thin film formed on the principal surface of the substrate, an insulating layer on the first superconducting current path, and a second superconducting current path of a c-axis orientated oxide superconductor thin film formed on the insulating layer so that the first and second superconducting current paths are insulated by the insulating layer. The superconducting multilayer interconnection further comprises a superconducting interconnect current path of an a-axis orientated oxide superconductor thin film, through which the first and second superconducting current paths are electrically connected each other. In the superconducting multilayer interconnection, at least one of the first and second superconducting current paths has a step portion and the superconducting interconnect current path is positioned at the step portion so that the interface area between the superconducting current path and the superconducting interconnect current path is enlarged.

L'invention est une interconnexion supraconductrice multicouche comportant un substrat ayant une surface principale, un premier trajet de courant supraconducteur dans une couche mince d'oxyde supraconducteur orienté selon un axe c qui est formée sur la surface principale du substrat, une couche isolante superposée au premier trajet de courant supraconducteur, et un second trajet de courant supraconducteur dans une couche mince d'oxyde supraconducteur orienté selon l'axe c qui est superposée à la couche isolante de façon à isoler l'un de l'autre le premier et le second trajet de courant supraconducteur au moyen de la couche isolante. L'interconnexion supraconductrice multicouche comporte de plus un trajet d'interconnexion supraconducteur dans une couche mince d'oxyde supraconducteur orienté selon un axe a, où le premier et le second trajet de courant supraconducteur sont connectés électriquement l'un à l'autre. Dans l'interconnexion multicouche supraconductrice, l'un au moins des deux trajets de courant supraconducteur comporte un gradin et le trajet d'interconnexion supraconducteur est placé au gradin de telle façon qu'il en résulte un élargissement de l'aire d'interface entre le trajet de courant supraconducteur et le trajet d'interconnexion supraconducteur.

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