Optical mirror system with multi-axis rotational control

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 26/08 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G02B 7/182 (2006.01) G02B 26/02 (2006.01)

Patent

CA 2409072

An optical mirror system with multi-axis rotational control is disclosed. The mirror system includes an optical surface assembly, and at least one leg assembly coupled to the optical surface assembly. The at least one leg assembly supports the optical surface above a substrate. A system and method in accordance with the present invention can operate with many different actuator mechanisms, including but not limited to, electrostatic, thermal, piezoelectric, and magnetic. An optical mirror system in accordance with the present invention accommodates large mirrors and rotation angles. Scanning mirrors can be made with this technique using standard surface-micromachining processes, or a deep RIE etch process. A device in accordance with the present invention meets the requirements for a directly scalable, high port count optical switch, utilizing a two mirror per optical I/O port configuration. An optical mirror in accordance with the present invention can be utilized in, but is not limited to, the following applications: optical add-drop multiplexers, wavelength routers, free-space optical interconnects, chip-level optical I/O, optical scanning displays, optical scanner (bar-codes, micro cameras), optical storage read/write heads, laser printers, medical replacement for glasses (incorporated with adaptive optics), medical diagnostic equipment, optical scanning for security applications.

L'invention concerne un système de miroir optique doté d'une commande rotative multi-axiale. Le système comporte un ensemble surface optique et au moins une jambe de soutien couplée à l'ensemble surface optique. La jambe de soutien supporte la surface optique au-dessus d'un substrat. Le système et le procédé de la présente invention peuvent coopérer avec de nombreux mécanismes d'actionnement différents, dont entre autres, des mécanismes électrostatiques, thermiques, piézo-électriques et magnétiques. Le système de miroir optique comporte de grands miroirs et des angles de rotation. Des miroirs de balayage peuvent être fabriqués par cette technique, au moyen de processus conventionnels de micro-usinage de surfaces, ou un processus de gravure ionique réactive profonde. Le dispositif de la présente invention peut servir de commutateur optique à compte élevé de ports, directement dimensionnable, qui utilise une configuration de deux miroirs par port optique d'entrée/sortie. Le miroir optique peut, entre autres, être utilisé dans les applications suivantes : des multiplexeurs optiques à insertion-extraction, des routeurs de longueurs d'ondes, des interconnexions optiques en espace libre, des entrées/sorties optiques au niveau puce, des affichages à balayage optique, des scanners optiques (codes-barre, micro caméras), des tête de lecture/écriture à mémoire optique, des imprimantes laser, des substituts chirurgicaux aux lunettes (intégrés au moyen de l'optique adaptative), des équipements de diagnostic médical et le balayage optique pour des applications de sécurité.

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