C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/513 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01)
Patent
CA 2657940
A system (10) for coating surfaces of a workpiece (12) comprises a biasing system (242) for connection to said workpiece (12) and an anode (76) such as to negatively bias the workpiece relative to the anode and a vacuum source (42, 44) for evacuating an interior of the workpiece (12). A gas supply (224, 226, 228) is employed for introducing a gas containing a treatment material to said workpiece and a control system (244) controls the biasing system (242), the vacuum source (42, 44) and the gas supply (224, 226, 228) so as to establish a hollow cathode effect within the workpiece (12). A pair of coupling heads (16, 18) are supported on articulated arms (22, 24, 26) movable in one or more of three axes and include removable shields (78) to protect the heads (16, 18) and an anode mount (74) for receiving an anode (76). The articulated arms allow the system to accommodate a plurality of different shaped and different sized workpieces while the shields protect the coupling heads during a deposition process.
L'invention concerne un système (10) servant à enduire des surfaces d'une pièce (12), lequel système comprend un système de polarisation (242) destiné à être connecté à la pièce (12) et à une anode (76) de sorte à polariser négativement ladite pièce par rapport à l'anode, ainsi qu'une source de vide (42, 44) permettant d'évacuer l'air contenu dans un espace intérieur de ladite pièce (12). Une alimentation en gaz (224, 226, 228) est utilisée pour appliquer un gaz contenant une substance de traitement à ladite pièce et un système de commande (244) commande le système de polarisation (242), la source de vide (42, 44) et l'alimentation en gaz (224, 226, 228) de façon à créer un effet de cathode creuse à l'intérieur de la pièce (12). Une paire de têtes d'accouplement (16, 18) sont supportées sur des bras articulés (22, 24, 26) mobiles dans un ou plusieurs axes parmi trois axes et comportent des boucliers amovibles (78) destinés à protéger les têtes (16, 18) ainsi qu'un support d'anode (74) destiné à recevoir une anode (76). Les bras articulés permettent au système de recevoir une pluralité de pièces de forme et de dimension différentes, tandis que les boucliers protègent les têtes d'accouplement au cours d'un processus de dépôt.
Boardman William John
Casserly Thomas Bryan
Contreras Frederick
Mercado Raul Donate
Tudhope Andrew William
Smart & Biggar
Sub-One Technology Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1405832