Cantilevered microstructure methods and apparatus

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 26/08 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01) G02B 26/02 (2006.01)

Patent

CA 2365986

Cnantilevered microstructure apparatus and methods are described. An exemplary cantilevered microstructure apparatus includes a base, a cantilever, and a stop. The cantilever may be coupled to the base through a flexure, so that the cantilever is movable between a first angular orientation and a second angular orientation. The stop may be configured to contact the bottom portion of the cantilever in a contact area when the cantilever is in the second angular orientation. Alternatively, the stop may be configured to contact the cantilever in a contact area sized so that, upon application of an electrostatic bias between the cantilever and the stop, a sufficient force holds the cantilever against the stop. Alternatively, the stop may have a substantially planar surface configured to contact the cantilever in a contact area sized so that, upon application of a force to the cantilever substantially normal to the substantially planar surface of the stop, a sufficient force holds the cantilever against the stop such that the cantilever lies in a plane substantially parallel to the substantially planar surface of the stop.

Cette invention se rapporte à un appareil et à des procédés faisant intervenir une microstructure en porte-à-faux. Un exemple d'appareil avec microstructure en porte-à-faux comprend une base, un élément en porte-à-faux et une butée. L'élément en porte-à-faux peut être couplé à la base par une partie flexible, pour que l'élément en porte-à-faux soit mobile entre une première orientation angulaire et une seconde orientation angulaire. La butée peut être configurée pour venir en contact avec la partie inférieure de l'élément en porte-à-faux dans une zone de contact, lorsque l'élément en porte-à-faux se trouve dans la seconde orientation angulaire. Dans une variante, la butée peut être configurée pour venir en contact avec l'élément en porte-à-faux dans une zone de contact dimensionnée pour que, lors de l'application d'une tension électrostatique entre l'élément en porte-à-faux et la butée, une force suffisante maintienne l'élément en porte-à-faux contre la butée. Dans une variante, la butée peut comporter une surface essentiellement plane configurée pour venir en contact avec l'élément en porte-à-faux dans une zone de contact dimensionnée pour que, lors de l'application d'une force à l'élément en porte-à-faux dans un sens essentiellement perpendiculaire à la surface essentiellement plane de la butée, une force suffisante maintienne l'élément en porte-à-faux contre la butée, l'élément en porte-à-faux étant ainsi situé dans un plan essentiellement parallèle à la surface essentiellement plane de la butée.

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