Systems and methods for handling wafers

Details Systems and methods for handling wafers Systems and methods for handling wafers

H - Electricity

01

L

H01L 21/677 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/687 (2006.01)

Patent

CA 2756831

A system for handling wafers comprising: at least one unload station; at least one intermediate station designed to hold the wafers at an angle; a processing station; and a transfer device configured to move the wafers between the stations. The intermediate station may be configured to receive the wafers in a back-to-back arrangement. An apparatus for handling wafers comprising: on one side, a vacuum gripper configured to grip individual wafers; and, on the other side, a gravity gripper configured to support one or more wafers when positioned beneath the wafers and lifted. A method for handling wafers, comprising: unloading wafers; transferring the wafers to an intermediate station; transferring the wafers from the intermediate station to a processing station; treating the wafers; unloading the wafers from the processing station; and reloading the wafers in a carrier, wherein the wafers are unloaded, transferred and reloaded by a transfer device.

L'invention porte sur un système de manipulation de tranches comprenant : au moins un poste de déchargement ; au moins un poste intermédiaire conçu pour retenir les tranches à un certain angle ; un poste de traitement ; et un dispositif de transfert configuré pour déplacer les tranches entre les postes. Le poste intermédiaire peut être configuré pour recevoir les tranches dans un agencement dos à dos. L'invention porte également sur un appareil de manipulation de tranches comprenant : d'un côté, un préhenseur à vide configuré pour saisir des tranches individuelles ; et de l'autre côté un préhenseur par gravité configuré pour supporter une ou plusieurs tranches lorsqu'il est positionné au-dessous des tranches et levé. L'invention porte également sur un procédé de manipulation de tranches, comprenant : le déchargement de tranches ; le transfert des tranches vers un poste intermédiaire ; le transfert des tranches du poste intermédiaire vers un poste de traitement ; le traitement des tranches ; le déchargement des tranches à partir du poste de traitement ; et le rechargement des tranches dans un support, les tranches étant déchargées, transférées et rechargées par un dispositif de transfert.

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