Method and device for analysing the three-dimensional...

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 33/15 (2006.01) G01N 21/35 (2006.01) G01N 21/59 (2006.01)

Patent

CA 2324955

A device for and a method of analysing a sample, comprising: a sample positioning unit (1) for positioning a sample (3); a radiation generating unit (16) for providing at least one beam of electromagnetic radiation to each of first and second surfaces of the sample (3); an imaging unit (23) for providing at least one image from radiation transmitted through each of the first and second surfaces (3a, 3b) of the sample (3); a detector unit (25) for capturing the images provided by the imaging unit (23) and generating signals corresponding thereto; and an analysing unit (61) for operating on the signals received from the detector unit (25) and generating signals representative of the three-dimensional distribution of at least one component in the sample (3).

L'invention concerne un dispositif et un procédé afférent d'analyse d'un échantillon, le dispositif comprenant: une unité de positionnement (1) d'échantillon destinée au positionnement d'un échantillon (3); une unité de génération de rayonnement (16) destinée à émettre au moins un faisceau de rayonnement électromagnétique vers chacune des première et deuxième surfaces de l'échantillon (3); une unité de formation d'images (23) destinée à produire au moins une image à partir du rayonnement émis par chacune des première et deuxième surfaces (3a, 3b) de l'échantillon (3); une unité de détection (25) destinée à capturer les images produites par l'unité de formation d'images (23) et à générer des signaux correspondants; et une unité d'analyse (61) destinée à traiter les signaux provenant de l'unité de détection (25) et à générer des signaux représentant la répartition tridimensionnelle d'au moins un composant dans l'échantillon (3).

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