Thermal sensor and method of making same

Details Thermal sensor and method of making same Thermal sensor and method of making same

G - Physics

01

J

G01J 5/22 (2006.01) H01L 27/144 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)

Patent

CA 2384937

A two level microbridge infrared thermal detector having an upper detector planar section (a) comprising a temper-ature responsive detector of an oxide of vanadium having a high TCR and a resistivity in the range of 20K ohms to 50K ohms per square sheet resistance, and (b) being supporter above a lower section by leg portions of an oxide of vanadium having a resistivity of approximately 500 ohms per square sheet resistance.

Un détecteur thermique infrarouge à micropont à deux niveaux comprend une partie plane supérieure de détecteur (a) qui comporte un détecteur sensible à la température constitué d'un oxyde de vanadium présentant un coefficient élevé de température de résistance et une résistance par carré située dans la plage allant de 20K.OMEGA. à 50K.OMEGA. par carré, et (b) qui est soutenue au-dessus de la partie inférieure par des parties jambes constituées d'un oxyde de vanadium présentant une résistance par carré d'environ 500 .OMEGA. par carré.

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