An apparatus and process for hydrogenation of a silicon...

C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B

Patent

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Details

C01B 33/107 (2006.01) C01B 33/04 (2006.01)

Patent

CA 2740617

A reactor for hydrogenation of a silicon tetrahalide and metallurgical grade silicon to trihalosilane includes a bed of metallurgical silicon particles, one or more gas entry ports, one or more solids entry ports, one or more solids drains and one or more ports for removing the trihalosilane from the reactor., Fresh surfaces are generated on the bed particles by internal grinding and abrasion as a result of entraining feed silicon particles in a silicon tetrahalide/hydrogen feed stream entering the reactor and impinging that stream on the bed of silicon particles. This has the advantages of higher yield of the trihalosilane, higher bumup rate of the MGS, removal of spent MGS as a fine dust carryover in the trihalosilane effluent leaving the reactor and longer times between shutdowns for bed removal.

L'invention porte sur un réacteur pour l'hydrogénation en trihalosilane d'un tétrahalogénure de silicium et d'un silicium de qualité métallurgique. Ce réacteur comprend un lit de particules de silicium métallurgique, un ou plusieurs orifices d'entrée de gaz, un ou plusieurs orifices d'entrée de matières solides, un ou plusieurs drains de matières solides et un ou plusieurs orifices pour retirer le trihalosilane du réacteur. De nouvelles surfaces sont générées sur les particules de lit par broyage et abrasion interne, suite à l'entraînement de particules de silicium d'alimentation dans un courant d'alimentation en tétrahalogénure de silicium/d'hydrogène entrant dans le réacteur et au choc de ce courant sur le lit de particules de silicium. Ceci présente les avantages d'un rendement supérieur du trihalosilane, d'un taux d'épuisement supérieur du silicium métallurgique (MGS), d'un retrait du MGS usé sous la forme d'un entraînement de fines poussières dans l'effluent de trihalosilane quittant le réacteur, et de laps de temps plus longs entre des arrêts pour un retrait de lit.

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