C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
01
B
C01B 33/035 (2006.01)
Patent
CA 2749724
A reactor (10) is disclosed for producing polycrystalline silicon, which reactor is provided with a reactor base plate (2) which has a multiplicity of nozzles (4) formed therein. A silicon-containing gas flows through the nozzles (4) . A plurality of filament rods (6) are likewise mounted on the reactor base plate (2). In addition, a gas outlet opening (8) for feeding used silicon-containing gas to an enrichment and/or treatment stage is provided. The gas outlet opening (8) is formed at a free end (21) of an inner tube (20), wherein the inner tube (20) is conducted through the reactor base plate (2).
L'invention concerne un réacteur (10) servant à produire du silicium polycristallin et comprenant un fond de réacteur (2) dans lequel sont réalisées une pluralité de buses (4) par lesquelles un gaz contenant du silicium entre dans le réacteur. Plusieurs filaments (6) en forme de baguettes sont également montés sur le fond (2) du réacteur. En outre, un orifice de sortie de gaz (8) sert à amener le gaz usé contenant du silicium à un système d'enrichissement et/ou de régénération. L'orifice de sortie de gaz (8) est réalisé à une extrémité libre (21) d'un tube intérieur (20) qui traverse le fond (2) du réacteur.
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
Schmid Silicon Technology Gmbh
LandOfFree
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