G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 31/02 (2006.01) G01R 31/26 (2006.01) G01R 31/305 (2006.01)
Patent
CA 2102880
A method for measuring electrical characteristics of an electrical device having a conductive structure associated therewith involves the sequence of steps as follows: First, employ a low energy electron beam to charge all conductors on the surface of the device. Expose individual conductors to a focussed low energy electron beam serially. Make measurements of an induced current signal when individual conductors are exposed to the focussed electron beam. Analyze induced current measurements derived from the individual conductors. Then determine electrical characteristics of the device based on the analysis. A charge storage method and three capacitive test methods for defect detection and methods for shorts delineation are described.
Méthode utilisée pour mesurer les caractéristiques électriques d'un dispositif électrique auquel une structure conductrice est associée. La méthode comporte les étapes suivantes : D'abord, employer un faisceau électronique de faible énergie pour charger tous les conducteurs à la surface du dispositif. Exposer en série chacun des conducteurs à un faisceau électronique focalisé de faible énergie. Mesurer le signal de courant induit lors de l'exposition de chacun des conducteurs. Analyser ensuite les mesures de courant induit dérivées de chaque conducteur. Puis, à partir de cette analyse, déterminer les caractéristiques électriques du dispositif. Sont également décrites une méthode de conservation de la charge, trois méthodes d'essai capacitif utilisées pour la détection des défaillances ainsi que diverses méthodes de délimitation des courts-circuits.
International Business Machines Corporation
Saunders Raymond H.
LandOfFree
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