G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 21/00 (2006.01) A61B 3/12 (2006.01) G01B 9/04 (2006.01) G01N 21/47 (2006.01)
Patent
CA 2562380
The device comprises a light source (LED), beam splitters (at least one of which is polarizing), illumination pattern generating means (LCOS micro-display) and interchangeable microscope lenses that are conventional lenses that may be used to obtain confocal images and interferometric lenses that may be used to obtain interferometric images. The generating means can generate a sequence of illumination patterns to obtain confocal images, or total opening of all the illumination pixels to obtain interferometric images.
L'invention concerne un profilomètre optique à double technologie qui comprend une source de lumière (LED), des diviseurs de faisceau (dont au moins un est polarisant) et des moyens de génération de configurations d'éclairage (microvisualiseur LCOS) et des objectifs microscopiques interchangeables qui sont des objectifs classiques avec lesquels on peut obtenir des images confocales et des objectifs interférométriques avec lesquels on peut obtenir des images interférométriques. Le microvisualiseur peut générer une séquence de configurations d'éclairage permettant d'obtenir des images confocales ou une ouverture totale de tous les pixels d'éclairage afin d'obtenir des images interférométriques. Le profilomètre selon l'invention présente un encombrement réduit, ce qui permet de mesurer rapidement et sans contact la forme et la texture de tout type de surfaces à l'échelle micrométrique et nanométrique, notamment dans des échantillons structurés ou stratifiés qui contiennent des matériaux différents.
Artigas Pursals Roger
Cadevall Artigues Cristina
Laguarta Bertran Ferran
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Universitat Politecnica de Catalunya
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1612582