C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
01
B
C01B 21/083 (2006.01) B01J 19/00 (2006.01) B01J 19/02 (2006.01) B01J 19/24 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
Patent
CA 2514345
The concentration of undesirable impurities dinitrogen difluoride and dinitrogen tetrafluoride in a nitrogen trifluoride mixture are reduced by heating the mixture in the gas phase in a vessel with an inner wall selected from electropolished metal, ceramic alumina or sapphire, and recovering a nitrogen trifluoride product having reduced concentration of such impurities. The process is carried out at a temperature of from about 150~C to about 300~C and the vessel is preferrably free of packing and has a minimized ratio of the vessel interior surface area to vessel volume in the region of the vessel where the heating step is carried out. The process optionally further includes the step of contacting the inner wall of the vessel with a passivating composition comprising fluorine gas.
La concentration d'impuretés indésirables de difluorure de diazote et de tetrafluorure de diazote dans un mélange de trifluorure d'azote est réduite par l'opération consistant à chauffer le mélange dans la phase gazeuse dans un récipient avec une paroi interne choisie parmi les métaux électropolis, alumine ou saphir céramique, et à récupérer un produit de trifluorure d'azote présentant une concentration réduite de ces impuretés. Le procédé est réalisé à une température comprise entre 150·c et 300·c environ et le récipient est, de préférence, sans remplissage et possède un rapport minimisé zone de surface intérieure de récipient / volume de récipient dans la zone du récipient où l'étape de chauffage est mise en oeuvre. Ce procédé consiste, facultativement, à mettre en contact la paroi interne du récipient avec une composition de passivation contenant du gaz de fluor.
Mahler Barry Asher
Nappa Mario J.
E. I. Du Pont de Nemours And Company
Torys Llp
LandOfFree
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