H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/13 (2006.01) G01J 9/02 (2006.01)
Patent
CA 2198714
Temperature compensation method and apparatus for wave meters and tunable lasers controlled thereby which avoids the necessity of maintaining a good vacuum in the wave meter housing and which provides the quick establishment of wavelength accuracy after laser turn on before temperature stability in the wave meter is reached. In accordance with the method, the wave meter housing (12) is filled preferably with one atmosphere of dry nitrogen, and the wave meter output is corrected for temperature effects by combining the uncorrected or raw wave meter output with an appropriate wave meter temperature dependent component (14) and an additional appropriate rate of change of wave meter temperature dependent component (16). The net result is the achievement of accuracy and stability in the wave meter output without use of an oven and before a steady state operating temperature is attained.
L'invention se rapporte à un procédé et un appareil de compensation thermique pour ondemètres et lasers accordables commandés par ce procédé. Ce système évite de maintenir un vide important dans le corps de l'ondemètre et permet d'établir rapidement une précision de longueur d'onde après mise en marche du laser et avant stabilisation de la température dans l'ondemètre. Ce procédé consiste à remplir le corps (12) de l'ondemètre avec de préférence une atmosphère d'azote sec, et de corriger les effets thermiques à la sortie de l'ondemètre par association de la sortie non corrigée ou brute de l'ondemètre avec, d'une part, un composant (14) approprié réagissant à la température de l'ondemètre et avec, d'autre part, un composant (16) supplémentaire, approprié, réagissant au taux de variation de la température de l'ondemètre. On obtient ainsi comme résultat net une précision et une stabilité à la sortie de l'ondemètre sans utiliser de four, et ceci avant d'avoir atteint un état stable de la température de fonctionnement.
Cymer Inc.
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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