Semiconductor optical element and external cavity laser...

H - Electricity – 01 – S

Patent

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Details

H01S 5/22 (2006.01) H01S 5/14 (2006.01) H01L 33/00 (2006.01)

Patent

CA 2624014

It is possible to provide a semiconductor photo-element having an oblique end face of appropriate reflectivity and an oblique end face of low reflectivity and capable of being applied to an EC-LD or SLD and to provide an external resonance laser having the semiconductor photo-element. The semiconductor photo-element includes a waveguide (1G) containing a stripe-shaped active layer formed on a semiconductor substrate (11) and a first end surface (1TL) and a second end surface (1TH) which are cleavage planes parallel to each other. The normal line of the first end face (1TL) and the optical axis of the waveguide (1G) in the vicinity of the first end face (1TL) define a first angle (.phi.L) which is not zero. The normal line of the second end face (1TH) and the optical axis of the waveguide (1G) in the vicinity of the second end face (1TH) define a second angle (.phi.H) which is not zero and different from the first angle (.phi.L). A first spot size (.omega.L) in the width direction of the waveguide (1G) in the vicinity of the first end face (1TL) is different from a second spot size (.omega.H) in the width direction of the waveguide (1G) in the vicinity of the second end face (1TH).

La présente invention fait qu'il est possible de mettre à disposition un photo-élément à semi-conducteurs comportant une face terminale oblique d'une réflectivité adéquate et une face terminale oblique de faible réflectivité et en mesure d'être appliqué à une diode laser de cavité externe ou diode superluminescente et de fournir un laser à résonance externe comprenant le photo-élément à semi-conducteurs. Le photo-élément à semi-conducteurs inclut un guide d'ondes (1G) contenant une couche active en forme de rayure formée sur un substrat à semi-conducteurs (11) et une première surface terminale (1T<SUB>L</SUB>) et une seconde surface terminale (1T<SUB>H</SUB>) qui constituent des plans de clivage parallèles l'un à l'autre. La ligne normale de la première face terminale (1T<SUB>L</SUB>) et l'axe optique du guide d'ondes (1G) à proximité de la première face terminale (1T<SUB>L</SUB>) définissent un premier angle (f<SUB>L</SUB>) qui n'est pas zéro. La ligne normale de la seconde face terminale (1T<SUB>H</SUB>) et l'axe optique du guide d'ondes (1G) à proximité de la seconde face terminale (1T<SUB>H</SUB>) définissent un second angle (f<SUB>H</SUB>) qui n'est pas zéro et est différent du premier angle (f<SUB>L</SUB>). Une première taille de spot (?<SUB>L</SUB>) dans la direction de la largeur du guide d'ondes (1G) à proximité de la première face terminale (1T<SUB>L</SUB>) est différente d'une deuxième taille de spot (?<SUB>H</SUB>) dans la direction de la largeur du guide d'ondes (1G) à proximité de la seconde face terminale (1T<SUB>H</SUB>).

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