Vibration sensor

G - Physics – 01 – H

Patent

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Details

G01H 11/08 (2006.01)

Patent

CA 2523109

A vibration sensor in which a vibration film electrode can be protected against breakage while deterioration of sensitivity being avoided and assembling work can be improved. The vibration sensor comprises a fixed electrode (1) and a vibration film electrode (3) provided with a weight (2) to the film surface on the side opposite the side facing the fixed electrode (1) and supported fixedly on the periphery, and can output as an vibration signal a variation in capacitance between the fixed electrode (1) and the vibration film electrode (3). A protrusion (2a) protruding along the film surface direction while being spaced apart from the film surface of the vibration film electrode (3) is formed partially at the end part of the weight (2), and a member (4) capable of regulating displacement of the weight (2) by being contact with the protrusion (2a) of the weight (2) displacing along the film surface direction of the vibration film electrode (3) is provided.

L'invention porte sur un détecteur de vibrations dans lequel une électrode de film à vibrations peut être protégée contre la rupture tout en évitant la détérioration de la sensibilité et tout en améliorant le travail d'assemblage. Le détecteur de vibrations comprend une électrode fixe (1) et une électrode de film à vibrations (3) pourvue d'une masse (2) par rapport à la surface du film sur le côté opposé au côté qui fait face à l'électrode fixe (1) et soutenue de manière fixe à la périphérie et pouvant sortir comme signal de vibrations une capacité variable entre l'électrode fixe (1) et l'électrode de film à vibrations (3). L'invention concerne aussi une protubérance (2a) qui fait saillie le long de la surface du film tout en étant espacée de la surface du film de l'électrode de film à vibrations (3) et est formée en partie au niveau de la partie d'extrémité de la masse (2), ainsi qu'un élément (4) capable de réguler le déplacement de la masse (2) par contact avec la protubérance (2a) de la masse (2) qui se déplace le long de la surface du film de l'électrode de film à vibrations (3).

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