H - Electricity – 01 – S
Patent
H - Electricity
01
S
H01S 3/22 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01S 3/036 (2006.01) H01S 3/04 (2006.01) H01S 3/1055 (2006.01) H01S 3/225 (2006.01)
Patent
CA 2390123
A helium purge for a grating based line narrowing device for minimizing thermal distortions in line narrowed lasers producing high energy laser beams at high repetition rates. Applicants have shown substantial improvement in performance with the use of helium purge as compared to prior art nitrogen purges. In preferred embodiments a stream of helium gas is directed across the face of the grating (16). In other embodiments the purge gas pressure is reduced to reduce the optical effects of the hot gas layer.
Purge à l'hélium pour dispositif de rétrécissement de ligne basé sur un réseau, de manière à limiter au maximum les distorsions thermiques dans des lasers à ligne rétrécie produisant des faisceaux laser d'énergie élevée à des débits répétitifs importants. L'invention permet d'améliorer considérablement les performances du laser au moyen de la purge à l'hélium par rapport aux purges à l'azote de l'état actuel de la technique. Dans des modes de réalisation préférés, on dirige un flux d'hélium gazeux à travers la face du réseau (16). Dans d'autres modes de réalisation on réduit la pression du gaz de purge afin de limiter les effets optiques de la couche de gaz chaud.
Cybulski Raymond F.
Ershov Alexander I.
Fomenkov Igor V.
Partlo William N.
Sandstrom Richard L.
Cymer Inc.
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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