Superconducting device and a method for manufacturing the same

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 39/22 (2006.01) H01L 39/14 (2006.01)

Patent

CA 2052378

In a superconducting device or a super-FET having a pair of superconducting electrode regions (20b, 20c) consisting of a thin film (20) oxide superconductor being deposited on a substrate (5) and a weak link region (20a), the superconducting electrode regions (20b, 20c) being positioned at opposite sides of the weak link region (20a), these superconducting electrode regions (20b, 20c) and the weak link region (20a) being formed on a common plane surface of the substrate (5), improvement in that the weak link region (20a) is produced by local diffusion of consistent element(s) of the substrate (5) into the thin film (20) of oxide superconductor in such a manner that a substantial wall thickness of the thin film (20) of oxide superconductor is reduced at the weak link region (20a) so as to leave a weak link or superconducting channel (10) in the thin film (20) of oxide superconductor over a non-superconducting region (50) which is produced by the diffusion.

Dans un dispositif supraconducteur ou dans un suppraconducteur TEC ayant deux électrodes supraconductrices (20a, 20c), consistant en un oxyde supraconducteur en couche mince (20) déposé sur un substrat (5), et une région à faible lien (20a); les électrodes supraconductrices (20b, 20c) sont situées sur les côtés opposés de la région à faible lien (20a), l'ensemble (20b, 20c, 20a) et la région à faible lien (20a) sur une surface plane commune du substrat (5). Cette invention constitue une amélioration car la région à faible lien (20a) est produite par la diffusion locale d'éléments consistants du substrat (5) dans la couche mince (20) d'oxyde supraconducteur de telle sorte qu'une grande partie de l'épaisseur de la couche mince (20) d'oxyde supraconducteur est réduite dans la région à faible lien (20a), laissant ainsi un faible lien ou un canal supraconducteur (10) dans la couche mince (20) d'oxyde supraconducteur au-dessus d'une région non-supraconductrice (50) produite par la diffusion.

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