C - Chemistry – Metallurgy – 30 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
30
B
C30B 29/04 (2006.01) C23C 16/02 (2006.01) C23C 16/27 (2006.01)
Patent
CA 2173676
The invention relates to synthesis of diamond, and more particularly to an improved method for producing a diamond film by chemical vapor deposition onto a substrate having a Young's modulus of less than 50 GPa. In accordance with this method, a coating material comprising a binder and diamond grit is applied to the substrate and a diamond film is deposited on the coating by chemical vapor deposition. The substrate advantageously comprises graphite or hexagonal boron nitride, and the thickness of the coating is in the range of 10 microns to 200 microns. The binder comprise, for example, glass-forming oxide or silicon dioxide, and the diamond grit has an average particle size in the range 0.1 to 10 microns. The ratio of binder to grit in the coating is in the rage 1:2 to 2:1, by weight. The invention also relates to a diamond deposition target medium comprising a substrate having a Young's modulus of less than 50 GPa and on this substrate, a coating having a binder and diamond grit.
Cette invention est du domaine de la synthèse de diamants, et concerne plus précisément un procédé amélioré de formation de couche mince de diamant par la méthode de dépôt chimique en phase vapeur sur un substrat caractérisé par un module d'Young d'une valeur inférieure à 50 GPa. Selon ce procédé, un matériau de revêtement composé de grains de diamant et d'un liant est appliqué sur le substrat et une couche mince de diamant est formée sur le revêtement par dépôt chimique en phase vapeur. Le substrat renferme de préférence du graphite ou du nitrure de bore de structure hexagonale, et l'épaisseur du revêtement se situe entre 10 et 200 microns. Le liant peut renfermer, par exemple, de la silice ou un autre oxyde vitrifiable et les grains de diamant ont une taille moyenne comprise entre 0,1 et 10 microns. Les proportions de liant et de grains de diamant dans le revêtement peuvent varier entre 1:2 et 2:1 en poids. Cette invention concerne également un support cible pour ledit procédé, constitué d'un substrat caractérisé par un module d'Young d'une valeur inférieure à 50 GPa recouvert d'un revêtement composé de grains de diamant noyés dans un liant.
Bak-Boychuk Gregory
Bradley Martin G.
Jaffe Stephen M.
Mack Darryl K.
Simpson Matthew
Bak-Boychuk Gregory
Bradley Martin G.
Celestech Inc.
Goudreau Gage Dubuc
Jaffe Stephen M.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1750297