Angular velocity sensor

Details Angular velocity sensor Angular velocity sensor

G - Physics

01

C

G01C 19/56 (2006.01) G01P 9/04 (2006.01)

Patent

CA 2389316

The present invention aims to improve detection characteristics of an angular velocity sensor using a tuning fork vibrator made of a single crystalline piezoelectric material such as quartz. In order to achieve this object, the present invention directly bonds two vibrators (20) and (30) in the thickness direction for an integral structure so that the vibrators have a crystal axis that generate piezoelectric phenomena in inverse polarities in their width directions. Tuning fork vibrator (10) has two tuning fork arms (10a) and (10b) and tuning fork base (10c). Detection electrodes (6), (7), (5), and (8) are disposed on an inner face and outer face of both tuning fork arms (10a) and (10b). Drive electrodes (1) and (2) are disposed on both tunings fork arms (10a) and (10b) against detection electrodes (5), (6), (7), and (8) for canceling capacitive coupling from a drive section to detecting section.

L'invention concerne un capteur de vitesse dont les caractéristiques de détection ont été améliorées à l'aide d'un vibrateur à diapason comportant un matériau piézo-électrique monocristallin tel que le quartz. Ce détecteur comprend deux couches d'oscillateurs à cristal (20, 30) directement réunies pour être intégrées dans le sens de la largeur suivant le sens de l'axe du cristal qui provoque l'apparition d'un phénomène piézo-électrique à polarité mutuellement inversée dans le sens de la largeur, et comprend également un vibrateur à diapason (10) présentant deux branches de diapason (10a, 10b) et une base de diapason (10c). Des électrodes de détection (6, 7, 5, 8) sont placées sur les surfaces intérieures et extérieures des deux branches de diapason (10a, 10b), des électrodes d'entraînement (1, 2) prévues pour les électrodes de détection (5, 6, 7, 8) étant placées sur les branches de diapason (10a, 10b) pour compenser le couplage capacitif du côté d'entraînement au côté de détection.

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