H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 1/62 (2006.01) H01J 9/26 (2006.01) H01J 29/86 (2006.01) H01J 31/50 (2006.01) H01J 40/06 (2006.01) H01J 40/16 (2006.01) H01J 63/04 (2006.01)
Patent
CA 2420653
A housing for microelectronic devices (see Fig. 1b) requiring an internal vacuum for operation, e.g., an image detector, is formed by tape casting and incorporates leads (38) between interior and exterior of said housing (10) where said leads (38) are disposed on a facing surface of green tape layers( 116, 120 and 118). Adjacent green tape layers (112, 108 and 114) having corresponding apertures (112', 110', 114') therein are stacked on a first closure member (26) to form a resulting cavity and increased electrical isolation or channel sub-structures are achievable by forming adjacent layers whith aperture dimension which vary non-monotonically. After assembly of the device within the cavity, a second closure member (30) is sealed against an open face of the package (10) in a vacuum environment to produce a vacuum sealed device.
L'invention concerne un logement destiné aux dispositifs micro-électroniques (voir fig. 1b) dont le fonctionnement exige un vide intérieur, à savoir, un détecteur d'image. Ce logement est formé par coulée en bande et comprend des conducteurs (38) entre l'intérieur et l'extérieur du logement (10), ces conducteurs (38) étant disposés sur une surface faisant face aux couches de rubans crus (116, 120 et 118). Les couches de rubans crus adjacents (116, 120 et 118) possédant des ouvertures correspondantes (112', 110', 114') empilées sur un premier élément de fermeture (26) afin de former une cavité résultante et une isolation électrique augmentée ou des sous-structures de canal réalisables par formation de couches adjacents avec une dimension d'ouverture variant sans monotonie. Après assemblage du dispositif dans la cavité, un second élément de fermeture (30) est fixé contre une face ouverte de l'enveloppe (10) dans un environnement sous vide afin de produire un dispositif hermétique.
Intevac Inc.
Sim & Mcburney
LandOfFree
Vacuum tube housing comprising a plurality of intermediate... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Vacuum tube housing comprising a plurality of intermediate..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Vacuum tube housing comprising a plurality of intermediate... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1889468