Methods of fabricating complex blade geometries from silicon...

H - Electricity – 01 – L

Patent

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H01L 21/4763 (2006.01)

Patent

CA 2564196

Ophthalmic surgical blades are manufactured from either a single crystal or poly-crystalline material, preferably in the form of a wafer. The method comprises preparing the single crystal or poly-crystalline wafers by mounting them and etching trenches into the wafers using one of several processes. Methods for machining the trenches, which form the bevel blade surfaces, include a diamond blade saw, laser system, ultrasonic machine, a hot forge press and a router. Other processes include wet etching (isotropic and anisotropic) and dry etching (isotropic and anisotropic, including reactive ion etching), and combinations of these etching steps. The wafers are then placed in an etchant solution which isotropically etches the wafers in a uniform manner, such that layers of crystalline or poly-crystalline material are removed uniformly, producing single, double or multiple bevel blades. Nearly any angle can be machined into the wafer, and the machined angle remains after etching. The resulting radii of the blade edges is 5-500 nm, which is the same caliber as a diamond edged blade, but manufactured at a fraction of the cost. A range of radii may be 30 to 60 nm, with a specific implementation being about 40 nm. The blade profile may have an angle of, for example, about 60 . The ophthalmic surgical blades can be used for cataract and refractive surgical procedures, as well as microsurgical, biological and non-medical, non-biological purposes. Surgical and non-surgical blades and mechanical devices manufactured as described herein can also exhibit substantially smoother surfaces than metal blades.

L'invention concerne des lames chirurgicales ophtalmiques fabriquées à partir d'un matériau monocristallin ou polycristallin, de préférence sous forme d'une plaquette. Le procédé consiste à préparer les plaquettes monocristallines ou polycristallines par montage de celles-ci et par gravure de tranchées dans ces plaquettes au moyen d'un ou de plusieurs procédés. L'invention concerne des procédés d'usinage des tranchées formant les surfaces des lames en biseau, avec utilisation d'une scie à lame diamantée, d'un système laser, d'un dispositif à ultrasons, d'une presse de forgeage à chaud et d'un routeur. D'autres procédés comprennent la gravure au mouillé (isotropique ou anisotropique) et la gravure à sec (isotropique et anisotropique, y compris la gravure ionique réactive), ainsi que la combinaison de ces opérations de gravure. Les plaquettes sont ensuite placées dans une solution d'attaque qui les grave isotropiquement de manière uniforme, afin d'éliminer uniformément les couches de matériau cristallin ou polycristallin et de produire des lames en biseau simples, doubles ou multiples. Un angle quelconque de biseau peut pratiquement être usiné dans la plaquette, et l'angle usiné demeure après gravure. Les rayons obtenus des arêtes des lames sont compris entre 5 et 500 nm, ce qui est le même calibre qu'une lame à arête de diamant, tout en n'étant qu'une fraction du coût. On peut obtenir une gamme de rayons de 30 à 60 nm, avec une application spécifique d'environ 40 nm. Le profil de la lame peut présenter un angle, par exemple, d'environ 60·. Les lames chirurgicales ophtalmiques peuvent être utilisées pour des opérations de cataracte et de chirurgie réfractive, ainsi que dans des applications microchirurgicales, biologiques et non-médicales et non-biologiques. Les lames chirurgicales et non-chirurgicales et les dispositifs mécaniques fabriqués comme précédemment décrit peuvent en outre présenter des surfaces sensiblement plus lisses que les lame métalliques.

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