Device for characterising optical gratings and method for...

G - Physics – 01 – D

Patent

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G01D 5/38 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01) G02B 5/18 (2006.01)

Patent

CA 2448823

The invention concerns an optical device (2) for characterising a diffraction grating (14) consisting of first and second integral interferometric diffraction sensors (4, 6) spaced apart from each other by a first specific distance, and comprising each a reading system (10a, 10b) and at least a light intensity detector, said first and second sensors delivering respectively first and second electric signals which, during the relative displacement (.DELTA.x) between the device and the diffraction grating, vary in accordance with the spatial frequency of said grating in first and second regions thereof located respectively opposite the two reading systems and receiving each light supplied by at least one light source. In particular, the first and second electric signals define first and second phases of the first and second sensors. Additionally, the device comprises means for measuring a difference between the phases of the first and second signals and means (24) for measuring the accumulation of said difference when the device moves along the grating. The invention also concerns optical devices for determining the spatial frequency of a grating of a type similar to said device. The invention further concerns methods for making diffraction gratings using said device.

L'invention concerne un dispositif optique (2) de caractérisation d'un réseau de diffraction (14) formé de premier et deuxième capteurs diffractifs interférométriques (4,6), solidaires, espacés l'un de l'autre d'une première distance déterminée, et comprenant chacun un réseau de lecture (10a, 10b) et au moins un détecteur d'intensité lumineuse, ces premier et deuxième capteurs fournissant respectivement des premier et deuxième signaux électriques qui, lors d'un déplacement relatif (.DELTA.X) entre le dispositif et le réseau de diffraction, varient en fonction de la fréquence spatiale de ce réseau dans des première et deuxième régions de celui-ci situées respectivement en face des deux réseaux de lecture et recevant chacune de la lumière fournie par au moins une source de lumière. En particulier, les premier et deuxième signaux électriques définissent des première et deuxième phases des premier et deuxième capteurs. En outre, le dispositif comprend des moyens pour mesurer une différence entre les phases des premier et deuxième signaux et des moyens (24) pour mesurer l'accumulation de cette différence lors d'un déplacement du dispositif le long du réseau. L'invention concerne aussi des dispositifs optiques de détermination de la fréquence spatiale d'un réseau d'un réseau d'un type similaire au dispositif susmentionné. L'invention concerne également des procédés de fabrication de réseaux de diffraction utilisant un dispositif du type susmentionné.

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