Process for producing aluminized structures on an aluminium...

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H - Electricity

01

L

H01L 21/268 (2006.01) B23K 26/18 (2006.01) B41M 5/24 (2006.01) H01L 21/48 (2006.01) H05K 3/10 (2006.01)

Patent

CA 2126807

ABREGE La présente invention a pour objet un procédé de réalisation de structures aluminisées sur des zones prédéterminées d'un substrat de nitrure d'aluminium, caractérisé par le fait que lesdites zones sont irradiées par un laser U.V. fonctionnant en mode impulsionnel à une longueur d'onde comprise entre 193nm et 351nm, la densité d'énergie sur lesdites zones étant supérieure ou égale à 500mJ/cm2. La présente invention a également pour objet une structure aluminisée obtenue par le procédé précédent comportant une couche d'aluminium d'épaisseur inférieure à 1µm. Figure à publier: figure 3

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