G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 1/073 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01)
Patent
CA 2476389
A test probe alignment apparatus includes a rotatable stage that is decoupled from a workpiece positioning stage so that the workpiece positioning stage can move a workpiece in an XY plane without moving the stage, thereby inhibiting vibration in and inertia of the workpiece positioning stage, and improving the speed and accuracy of workpiece movements. The stage is driven for rotation about an axis substantially perpendicular to the X-Y plane. The rotatable stage supports a carriage adapted for holding a probe card. The carriage rotates in concert with the stage to thereby align the probe card relative to the workpiece. A Z-stage is operatively engaged with the carriage for moving the carriage along the axis of rotation relative to the workpiece. A computer processor performs coordinate transformations on preprogrammed movement vectors, to adjust for angular misalignment of the workpiece as measured by a position sensor.
Cette invention concerne un appareil d'alignement de sondes d'essais comprenant un support ? rotatif qui est découplé d'un support de positionnement de la pièce de sorte que le support de positionnement de la pièce permette de déplacer une pièce dans un plan X-Y sans déplacer le support ?, ce qui inhibe les vibrations et l'inertie du support de positionnement de la pièce et améliore la vitesse et la précision des déplacements de la pièce. Le support ? est entraîné de manière qu'il tourne autour d'un axe sensiblement perpendiculaire au plan X-Y. Sur le support rotatif repose un chariot conçu pour tenir une carte sonde. Le chariot tourne conjointement au support ? de sorte que la carte sonde soit alignée par rapport à la pièce. Un support A-Z est en prise fonctionnelle avec le chariot de sorte que le chariot soit déplacé sur l'axe de rotation par rapport à la pièce. Un processeur informatique effectue des modifications de coordonnées sur des vecteurs de déplacement préprogrammés afin que les excentrages angulaires de la pièce soient rectifiés selon les mesures d'un détecteur de position.?¿
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1974937