G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/00 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01) G02B 6/122 (2006.01) G03F 7/40 (2006.01)
Patent
CA 2296569
The invention relates to a method aimed at producing in an economical manner high-quality active and passive optoelectronic components presenting a high degree of integration and great packing density. According to the invention a high-quality structurable layer of coating polymer is applied to an optoelectronic component. A structure is produced by means of an etching mask in conjunction with highly anisotropic deep etching and the resulting structure filled with monomers by means of gaseous or liquid phase diffusion. Depending on the type of monomer used for diffusion and both temperature and reaction time the optical characteristics of the optical component can be modified in a targeted manner. The method provided for in the invention makes it possible to raise the packing density of future integrated monomode optical devices and allows for the cost-efficient production of large numbers of such devices.
L'invention concerne un procédé visant à produire de manière économique des éléments constitutifs optoélectroniques actifs et passifs de grande qualité, à haut degré d'intégration et à forte densité de tassement. Selon L'invention, une couche de laque polymère structurable de haute qualité est appliquée sur un élément constitutif optoélectronique. Une structure est obtenue à l'aide d'un masque d'attaque, en relation avec une attaque profonde anisotrope de degré élevé, ladite structure étant remplie de monomères par diffusion de phases gazeuses ou de phases liquides. En fonction du type de monomères utilisés pour cette pénétration par diffusion, ainsi que de la température et du temps d'action, les propriétés optiques des éléments constitutifs optiques peuvent être modifiés de manière ciblée. Ce procédé permet d'augmenter la densité de tassement de l'optique monomode intégrée de demain, tout en permettant de produire de manière économique des quantités importantes de pièces de ce type.
Koops Hans Wilfried Peter
Deutsche Telekom Ag
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1997158