Position detection of mechanical resonant scanner mirror

G - Physics – 02 – B

Patent

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G02B 26/08 (2006.01) G01P 15/09 (2006.01) G02B 7/182 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01) G02B 27/01 (2006.01)

Patent

CA 2266017

Two piezoelectric sensors (78, 80) are mounted on the back of a spring-plate (14) of a mechanical resonance scanner (10) on respective sides of a center line coinciding with an axis of rotation (16). As the scanner mirror (12) rotates back and forth the two sensors are accelerated and decelerated at a 180~ phase difference. Each sensor's output voltage crosses a zero level when the acceleration is unchanging. A differential amplifier (88) detects the zero- crossings for motion along the axis of rotation. Common mode rejection eliminates the non-rotational accelerations associated with external vibrations and shocks, and prevents masking the mirror's zero-crossings.

L'invention concerne deux capteurs (78, 80) piézoélectriques, qui sont montés sur l'arrière d'une plaque (14) élastique d'un balayeur (10) à résonance mécanique en étant placés de chaque côté d'une ligne centrale coïncidant avec un axe de rotation (16). Tandis que le miroir (12) du balayeur est animé d'un mouvement rotatif de va-et-vient, les deux capteurs sont accélérés et décélérés à une différence de phase de 180·. La tension de sortie de chaque capteur passe par un niveau zéro lorsque l'accélération est constante. Un amplificateur (88) différentiel détecte les passages par zéro pour se déplacer le long de l'axe de rotation. Un taux d'élimination en mode commun élimine les accélérations non rotationnelles associées à des vibrations et à des chocs extérieurs et empêche que les passages par zéro du miroir ne soient masqués.

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