G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 25/20 (2006.01) G01N 7/16 (2006.01) G01N 21/17 (2006.01)
Patent
CA 2284836
A micromachined integrated opto-thermal sensor having a rapidly intensity varying or pulsing light source, and interference filter, shadow masking or reflective blocking of light from thermal sensors, or differential operation, a gas cavity into which the detected gas can flow into via a channel or filter, and thermal detector elements to sense the heating of the gas caused by the absorption of light at a particular wavelength by the specific gas to be detected. Another version of the sensor is one with a dual cavity. One cavity contains the gas to be detected and the other cavity is sealed from the ambient environment and contains no gas. Signals from the detectors from the cavities are subtracted from each other resulting in the elimination of a fixed signal due to radiation impinging the detectors. A ratio of the signal from the detectors may be calculated for determining a presence of gas or fluid. The detector may have only a single cavity with two groups of thermal sensors. Each group of sensors receive radiation filtered by an interference filter which passes radiation of one wavelength for one group and of another wavelength for the other group. A ratio of the resultant signals from the two groups of thermal sensors, respectively, is calculated to determine the presence of gas in the near ambient environment of the detector.
L'invention concerne un détecteur opto-thermique intégré, micro-usiné, comprenant une source de lumière à variation d'intensité ou d'impulsions rapide, un filtre interférentiel, un moyen de masquage perforé ou de blocage réfléchissant de la lumière provenant de détecteurs thermiques, ou fonctionnant en mode différentiel, une cavité de gaz dans laquelle le gaz détecté peut s'écouler par un canal ou un filtre, et des éléments de détection thermique permettant de détecter le chauffage du gaz provoqué par l'absorption de lumière, à une longueur d'onde particulière, par le gaz spécifique à détecter. Une autre version du détecteur comporte deux cavités de gaz. L'une des cavités contient le gaz à détecter, l'autre est étanche au milieu ambiant et ne contient pas de gaz. Les signaux transmis par des détecteurs et provenant des cavités sont soustraits l'un de l'autre, ce qui permet d'éliminer un signal fixe dû au rayonnement incident sur les détecteurs. On peut calculer un rapport du signal provenant des détecteurs pour déterminer la présence de gaz ou de fluide. Le détecteur peut n'avoir qu'une seule cavité avec deux groupes de détecteurs thermiques. Chaque groupe de détecteurs reçoit un rayonnement filtré par un filtre interférentiel qui fait passer le rayonnement d'une longueur d'onde pour un groupe et d'une autre longueur d'onde pour l'autre groupe. Un rapport des signaux résultants provenant des deux groupes de détecteurs thermiques, est respectivement calculé pour déterminer la présence de gaz dans le milieu ambiant proche du détecteur.
Honeywell Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2045193