G - Physics – 05 – D
Patent
G - Physics
05
D
G05D 7/06 (2006.01) G01F 1/50 (2006.01) G01F 1/88 (2006.01) G01F 15/04 (2006.01)
Patent
CA 2366580
A gas delivery system accurately measures and optionally regulates mass flow rate in real time. The system includes a fluid conduit connecting an inlet valve, calibration volume, flow restrictor, and outlet valve in series. Pressure and temperature sensors are coupled to the calibration volume. A differential pressure sensor, or pair of differential, absolute, or gauge pressure sensors, may be attached across the flow restrictor. Alternatively, an absolute pressure sensor may be attached upstream of the flow restrictor.
L'invention concerne un système d'alimentation en gaz permettant de mesurer précisément et de réguler éventuellement le débit massique en temps réel. Ce système comprend un conduit de fluide conçu pour raccorder une soupape d'admission, un volume étalon, un limiteur de débit, et une soupape d'évacuation montés en série. De plus, des capteurs de pression et de température sont couplés au volume étalon, un capteur de pression différentielle, ou deux capteurs de pression différentielle, absolue ou effective, pouvant par ailleurs être fixés au-dessus dudit limiteur de débit. Dans une variante, un capteur de pression absolue peut être fixé en amont de ce limiteur de débit.
Brown Timothy R.
Judd Daniel R.
Cyber Instruments Technology Llc
Smart & Biggar
LandOfFree
Wide range gas flow system with real time flow measurement... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Wide range gas flow system with real time flow measurement..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Wide range gas flow system with real time flow measurement... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-2052909