3d array of integrated cells for the sampling and detection...

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 21/64 (2006.01) F04B 43/04 (2006.01) G01N 1/24 (2006.01) G01N 27/12 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) H02N 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2410513

An integrated mesopump-sensor (300, 320) suitable for disposition in two- and three-dimensional arrays having small dimensions is disclosed. One mesopump (30, 320) is formed of an electrostatically attractable flexible diaphragm (70, 240) disposed through cavities or pumping chambers (64) formed between two opposing electrostatically chargeable material layers (72, 74). Fluid is pumped through the chambers by sequentially moving the diaphragm (70, 240) toward the first chargeable layer (72), then towards the second chargeable layer (74), which can pull and push the fluid through a series of chambers (64, 132, 134, 136), and past the sensor (303, 354, 422, 502). One group of sensors utilizes multiple and varied chemoresistive sensors which can vary in resistance differently in response to the presence of various analytes. Another group of sensors utilzes chemo-fluorescent sensors (502, 506) that fluoresce in the presence of particular analytes. Some mesopump-sensor systems (600) can be manufactured using MEMS technology and can be coupled to controllers (602) for sequencing the pumps (60) and analyzing sensor outputs using methods including Principle Component Analysis.

L'invention concerne une mésopompe-capteur intégrée (300, 320) pouvant être arrangée avantageusement en réseaux bi- et tridimensionnels de faible encombrement. Une mésopompe (30, 320) est formée d'un diaphragme souple (70, 240) à une attraction électrostatique disposé à travers des cavités ou des chambres de pompage (64) formées entre deux couches de matière à charge électrostatique opposées (72, 74). Un fluide est pompé à travers les chambres par déplacement séquentiel du diaphragme (70, 240) vers la première couche à charge (72), puis vers la seconde couche à charge (74), lequel diaphragme peut aspirer ou refouler le fluide à travers une série de chambres (64, 132, 134, 136) devant le capteur (303, 354, 422, 502). Un groupe de capteurs comprend plusieurs différents capteurs chimio-résistants pouvant offrir une résistance variable en présence de divers analytes. Un autre groupe de capteurs comprend des capteurs chimio-fluorescents (502, 506) émettant une fluorescence en présence d'analytes particuliers. Certains systèmes mésopompes-capteurs (600) peuvent être fabriqués par la technique MEMS et couplés à des contrôleurs (602) pour séquencer les pompes (60) et analyser des sorties de capteur par des méthodes telles que l'analyse composante principale.

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