A catalytic gas sensor

Details A catalytic gas sensor A catalytic gas sensor

G - Physics

01

N

G01N 27/16 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G01N 25/30 (2006.01) G01N 27/12 (2006.01)

Patent

CA 2173612

A catalytic detector for a flammable gas comprises a substrate and a sensing structure suspended from the substrate. The sensing structure has a combined heating element and temperature sensing element in the form of a layer-deposited electrically conductive track terminating in at least two electrically bridging leads. A catalytic bead is deposited over the temperature sensing element and that portion of the substrate which is directly beneath the sensing structure is etched away so as to isolate thermally the sensing structure with the temperature sensing structure being supported by the bridging leads. The electrically conductive track is sandwiched between a substrate adhesion layer for facilitating adhesion of the conductive track and a superstrate diffusion barrier layer. The invention extends to a method of manufacturing a gas detector and a sensing structure.

L'invention concerne un détecteur catalytique de gaz inflammable qui comprend un substrat et une structure de détection suspendue au substrat. La structure de détection possède un élément chauffant et un élément de détection de température combinés se présentant sous la forme d'un tracé électroconducteur déposé en couche et se terminant par au moins deux éléments électroconducteurs formant un pont. Une goutte catalytique est déposée sur l'élément de détection de température, et la partie du substrat qui se trouve directement sous la structure de détection est attaquée chimiquement afin d'isoler thermiquement la structure de détection, la structure de détection de température étant supportée par les conducteurs réunis et formant un pont. Le tracé électroconducteur est pris en sandwich entre une couche d'adhésion appliquée sur le substrat en vue de faciliter son adhésion et une couche barrière de diffusion supérieure. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un détecteur de gaz et d'une structure de détection.

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