G - Physics – 01 – F
Patent
G - Physics
01
F
G01F 1/68 (2006.01) G01F 1/00 (2006.01) G01F 15/04 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2554773
A fluid sensor of an anticorrosive metal comprises a thermal mass flow sensor having an enhanced anticorrosiveness. The measurement accuracy is stable against pressure variation, the response is improved, the senor is free of particles, variation of product quality is prevented, and pressure measurement is possible. A fluid supply device using this fluid sensor is also disclosed. Specifically, the fluid sensor comprises an anticorrosive metal substrate (2), a mass flow sensor section (1) composed of a thin film forming a temperature sensor (3a) and a heater (3b) provided on the back side opposite to the front side of a fluid-contact body of the anticorrosive metal substrate (2), and a pressure sensor section (4) composed of a thin film forming a strain sensor element (4a) provided on the back side opposite to the front side of the fluid- contact body of the anticorrosive metal substrate (2). This fluid sensor is for measuring the mass flow and pressure of a fluid.
Un capteur de fluide de métal anticorrosif comprend un capteur de débit massique thermique ayant une anticorrosion améliorée. La précision de mesure est stable face à la variation de pression, la réponse est améliorée, le capteur est exempt de particules, les fluctuations de qualité du produit sont évitées et la mesure de pression est possible. Un dispositif d'alimentation de fluide est également divulgué. De manière spécifique, le capteur de fluide comprend un substrat métallique anticorrosif (2), une section de capteur de débit massique (1) composée d'une couche mince formant un capteur thermique (3a) et un chauffage (3b) prévu sur la face arrière opposée à la face avant d'un corps en contact avec le fluide du substrat métallique anticorrosif (2), et une section de capteur de pression (4) composée d'une couche mince formant un élément capteur de déformation (4a) prévu sur la face arrière opposée à la face avant d'un corps en contact avec le fluide du substrat métallique anticorrosif (2). Ce capteur liquide est prévu pour la mesure du débit massique et de la pression d'un fluide.
Dohi Ryousuke
Hirata Kaoru
Ikeda Nobukazu
Nishino Kouji
Fujikin Incorporated
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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