G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/35 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) G01J 1/42 (2006.01) G01J 5/12 (2006.01) G01N 21/03 (2006.01) G02B 6/36 (2006.01) G02B 6/42 (2006.01) H01L 21/48 (2006.01) H01L 27/16 (2006.01) H01L 35/32 (2006.01)
Patent
CA 2320919
The present invention relates to a method of producing a gas sensor co-acting detector intended for the detection of electromagnetic waves, such as infrared light rays, that pass through a gas cell. The gas cell (2) includes a cavity (21), which functions to enclose a gas volume (G) for measuring of evaluating purposes. The surface or parts of the surface forming walls within the gas cell or the cavity is/are coated with one or more different metal layers (M1, M2) with the intention of providing a highly reflective surface for reflection of said electromagnetic waves. The detector (3) is comprised of a thermal element and is formed on a base structure (31). That part of the base structure that shall form said detector is comprised of one or more topographically structured surface regions. At least said surface region or surface regions is/are coated with a first and a second electrically conductive metal layer (M1 and M2 respectively) which are intended to form said thermocouple. The first metal layer (M1) is applied at a first angle other than 90~, and the second metal layer (M2) is applied at a second angle which is also other than 90~ and which differs from the first angle. The topographical structure and/or configuration including the thus coated electrically conductive layers provides the function of one or more thermocouples, by virtue of the first and the second metal layers (M1, M2) overlapping each other within discrete detector-associated surface parts.
L'invention concerne un procédé de fabrication de détecteur co-agissant avec un capteur de gaz, pour la détection d'ondes électromagnétiques (par exemple, lumière infrarouge) traversant une cellule à gaz, laquelle (2) comprend une cavité (21) enfermant un volume de gaz (G) aux fins de mesure et d'évaluation. On revêt la surface ou plusieurs parties de la surface des parois de la cellule à gaz ou de la cavité avec une ou plusieurs couches métalliques différentes (M1, M2), pour constituer une surface hautement réfléchissante capable de réfléchir les ondes électromagnétiques susmentionnées. Le détecteur (3) est formé d'un élément thermique reposant sur une base (31), et la partie de cette base constituant ledit détecteur comprend une ou plusieurs zones de surface topographiquement structurées. On revêt au moins ladite ou lesdites zones avec des première et seconde couches métalliques conductrices (M1 et M2, respectivement) qui forment donc un thermocouple. La première couche métallique (M1) est appliquée selon un premier angle différent de 90·, et la seconde couche métallique (M2) est appliquée selon un second angle à la fois différent de 90· et différent du premier angle. Avec la structure topographique et/ou la configuration comprenant les couches conductrices ainsi revêtues, on assure un ou plusieurs thermocouples, via le chevauchement des première et seconde couches métalliques (M1, M2) dans des zones de surface discrètes associées au détecteur.
Martin Hans Goran Evald
Ohman Per Ove
Martin Hans Goran Evald
Ohman Per Ove
Smart & Biggar
LandOfFree
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