A novel electrode for use with atmospheric pressure plasma...

H - Electricity – 05 – H

Patent

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H05H 1/24 (2006.01) H05H 1/34 (2006.01)

Patent

CA 2452939

A plasma emitter apparatus and method for using the same that includes a primary electrode and a secondary electrode. The secondary electrode is porous, that is, it is configured to permit the passage of plasma discharge therethrough. Accordingly, the plasma is received at one side of the secondary electrode and emitted from its opposing plasma exiting side. Numerous configurations of the secondary electrode are possible so long as the plasma discharge is permitted to pass therethrough. For instance, the secondary electrode may be a laminate of multiple insulating material layers with at least one conductive layer sandwiched therebetween. A plurality of apertures are defined through the laminate and a dielectric sleeve is inserted into and retained in the aperture. The generated plasma passes through one or more holes defined in each of the dielectric sleeves. Alternatively, the secondary electrode may be formed as a plurality of unidirectional high voltage wires strung substantially parallel across a frame or a plurality of bidirectional high voltage wires interwoven and secured by a perimeter frame. Since the plasma passes through the secondary electrode the plasma reactor device may be in a position proximate or in direct contact with the surface of the object to be treated.

L'invention concerne un appareil émetteur de plasma et son procédé d'utilisation, l'appareil comprenant une électrode primaire et une électrode secondaire. L'électrode secondaire est poreuse, c'est-à-dire qu'elle est configurée pour permettre le passage de décharge de plasma à travers celle-ci. Ainsi, le plasma est reçu d'un côté de l'électrode secondaire et est émis par son côté de sortie de plasma opposé. De nombreuses configurations de l'électrode secondaire sont possibles, du moment que la décharge de plasma peut passer à travers celle-ci. Par exemple, l'électrode secondaire peut être un stratifié de couches de matériau isolant multiples avec au moins une couche conductrice prise en sandwich entre elles. Plusieurs ouvertures sont formées dans le stratifié et une gaine diélectrique est insérée dans l'ouverture et maintenue dans celle-ci. Le plasma généré passe dans au moins une ouverture formée dans chaque gaine diélectrique. Sinon, la seconde électrode peut se présenter sous la forme de fils haute tension monodirectionnels tirés sensiblement parallèlement au travers d'un cadre ou sous forme de fils haute tension bidirectionnels entrelacés et fixés par un cadre périmétrique. Etant donné que le plasma passe à travers l'électrode secondaire, le dispositif réacteur à plasma peut être positionné à proximité ou en contact direct avec la surface de l'objet à traiter.

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