H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 49/26 (2006.01) B01D 59/44 (2006.01) C12Q 1/00 (2006.01) G01N 27/62 (2006.01) H01J 49/10 (2006.01) H01J 49/24 (2006.01) H01J 49/40 (2006.01)
Patent
CA 2476386
A plasma source mass spectrometer (20) having an ion beam extraction electrode (45) associated with a skimmer cone (40) to restrict the pumping of gas from a region (60) immediately behind the skimmer cone orifice (42) to provide a higher pressure (e.g. 1-10-2 Torr) in the region (60) compared to the pressure downstream of the electrode (45) (e.g. 10-3-10-4 Torr). This provides a collisional gas volume (60) for plasma (28) for attenuating polyatomic and multicharged interfering ions prior to extraction of an ion beam (49). In one embodiment a substance (e.g. hydrogen) can be supplied into the region (60) to assist attenuation of polyatomic and multicharged interfering ions by reactive or collisional interactions.
L'invention concerne un spectromètre de masse à source plasma (20) comprenant une électrode d'extraction de faisceau ionique (45) associée à un cône de récupération (40) pour restreindre le pompage de gaz d'une zone (60) se trouvant immédiatement derrière l'orifice du cône de récupération (42) et ainsi obtenir une pression plus élevée (par ex. 1-10?-2¿ Torr) dans ladite zone (60) par comparaison avec la pression régnant en aval de l'électrode (45) (par ex. 10?-3¿ -10?-4¿ Torr). Ceci fournit au plasma (28) un volume de gaz collisionnel (60) servant à atténuer les ions polyatomiques ainsi que les ions multichargés interférants, préalablement à l'extraction d'un faisceau ionique (49). Dans un mode de réalisation de cette invention, une substance (telle que de l'hydrogène) peut être introduite dans une zone (60) pour favoriser l'atténuation d'ions polyatomiques et d'ions multichargés interférants, par interactions réactives ou collisionnelles.
R. William Wray & Associates
Varian Australia Pty Ltd
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1845224