A tri-axis accelerometer

Details A tri-axis accelerometer A tri-axis accelerometer

G - Physics

01

P

G01P 15/18 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)

Patent

CA 2595755

In an embodiment of the present invention there is provided a micro- electromechanical (MEMS) accelerometer, including a substrate, a first sensor and a second sensor. The first sensor is configured to measure an acceleration along a first axis parallel to a plane of the substrate. The second sensor is configured to measure an acceleration along an axis perpendicular to the plane of the substrate. The second sensor comprises a first beam, a second beam and a single support structure. The single support structure supports the first and second beams relative to the substrate, wherein the first and second beams circumscribe the first sensor.

Dans un mode de réalisation de la présente invention, il est prévu un accéléromètre micro-électromécanique (MEMS) comprenant un substrat, un premier capteur et un deuxième capteur. Le premier capteur est configuré de façon à mesurer une accélération le long d'un premier axe parallèle à un plan du substrat. Le deuxième capteur est configuré de façon à mesurer une accélération le long d'un axe perpendiculaire au plan du substrat. Le deuxième capteur comprend un premier faisceau, un deuxième faisceau et une structure de support unique. Cette structure de support unique supporte le premier et le deuxième faisceaux par rapport au substrat, le premier et le deuxième faisceaux entourant le premier capteur.

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