G - Physics – 05 – B
Patent
G - Physics
05
B
G05B 19/39 (2006.01) B23K 26/04 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) G05B 19/404 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2396259
The present invention preferably employs non-contact, small-displacement, capacitive sensors (124, 128, 130, 131, 132) to determine Abbe errors due to the pitch (20), yaw (22), or roll (18) of a near linear mechanical stage (56, 58) that are not indicated by an on-axis position indicator, such as a linear scale encoder or laser interferometer. The system is calibrated against a precise reference standard so the corrections depend only on sensing small changes in the sensor readings and not on absolute accuracy of the sensor readings. Although the present invention is preferred for use in split-axis positioning systems (50) with inertially separated stages (56, 58), the invention can be employed in typical split-axis or stacked stage systems to reduce their manufacturing costs.
La présente invention utilise de préférence des capteurs capacitifs sans contact à déplacement réduit (124, 128, 130, 131, 132) pour déterminer des erreurs d'Abbe liées au tangage (20), au lacet (22) ou au roulis (18) d'un étage mécanique quasi linéaire (56, 58), ces paramètres n'étant pas indiqués par un indicateur de position axé, tel qu'un codeur à échelle linéaire ou un interféromètre au laser. Ce système est étalonné par rapport à une norme de référence précise de manière que les corrections dépendent uniquement de petites modifications de détection dans les lectures des capteurs, et non de la précision absolue des lectures de ces capteurs. Malgré le fait que la présente invention soit d'abord destinée à des systèmes de positionnement à axe divisé (50) dotés d'étages à séparation inertielle (56, 58), elle peut être utilisée dans des systèmes à étage empilé ou à axe divisé classiques, d'où une réduction de leur coût de fabrication.
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1939035