H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/05 (2006.01) G01N 23/20 (2006.01) G01N 23/227 (2006.01) H01J 37/153 (2006.01)
Patent
CA 2636239
An aberration-correcting microscopy instrument is provided. It has a first magnetic deflector (206) disposed for reception of a first non-dispersed electron diffraction pattern. The first magnetic deflector is also configured for projection of a first energy dispersed electron diffraction pattern in an exit plane (A2) of the first magnetic deflector. An electrostatic lens (224) is disposed in the exit plane of the first magnetic deflector. A second magnetic deflector (222) substantially identical to the first magnetic deflector is disposed for reception of the first energy dispersed electron diffraction pattern from the electrostatic lens. The second magnetic deflector is also configured for projection of a second non-dispersed electron diffraction pattern in a first exit plane (B2) of the second magnetic deflector. An electron mirror (226) is configured for correction of one or more aberrations in the second non-dispersed electron diffraction pattern. The electron mirror is disposed for reflection of the second non-dispersed electron diffraction pattern to the second magnetic deflector for projection of a second energy dispersed electron diffraction pattern in a second exit plane (B3) of the second magnetic deflector.
La présente invention concerne un instrument de microscopie à correction d'aberration. L'instrument comporte un premier déflecteur magnétique disposé pour recevoir un premier diagramme de diffraction d'électrons non dispersés. Le premier déflecteur magnétique est également configuré pour la projection d'une première énergie dispersée du diagramme de diffraction d'électrons non dispersés dans un plan de sortie du premier déflecteur magnétique. L'instrument comporte également une lentille électrostatique disposée dans le plan de sortie du premier déflecteur magnétique, ainsi qu'un second déflecteur magnétique sensiblement identique au premier réflecteur magnétique. Le second déflecteur magnétique est agencé pour recevoir le premier diagramme de diffraction d'électrons dispersés d'énergie provenant de la lentille électrostatique. Le second déflecteur magnétique est également configuré pour la projection d'un second diagramme de diffraction d'électrons non dispersés dans un premier plan de sortie du second déflecteur magnétique. L'instrument comporte en outre un miroir électronique configuré pour corriger une ou des aberrations dans le second diagramme de diffraction d'électrons non dispersés. Le miroir électronique est agencé pour réfléchir le second diagramme de diffraction d'électrons non dispersés vers le second déflecteur magnétique pour la projection d'un second diagramme de diffraction d'électrons non dispersés dans un second plan de sortie du second déflecteur magnétique.
International Business Machines Corporation
Wang Peter
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1566840