H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 17/49 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
Patent
CA 2344402
A method and apparatus for stabilizing glow plasma discharges by suppressing the transition from glow-to-arc includes a perforated or apertured dielectric plate having an upper surface and a lower surface and one or more holes extending therethrough. The perforated dielectric plate (130) is positioned over the cathode (120). Each of the holes acts as a separate active current limiting microchannel that prevents the overall current density from increasing above the threshold for the glow-to-arc transition. This allows for a stable glow discharge to be maintained for a wide range of operating pressures and in a wide range of electric fields include DC and RF fields of varying strength. In another embodiment, the device comprises an AC glow plasma discharge device wherein an apertured dielectric is placed over an electrode. The apertured dielectric may have one or more apertures or capillaries extending therethrough.
L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de stabiliser les décharges luminescentes à plasma en supprimant le passage de régime d'effluve au régime d'arc. Cet appareil comprend une plaque diélectrique perforée pourvue d'une surface supérieure et d'une surface inférieure traversées par un ou plusieurs trous. Cette plaque diélectrique perforée (130) est disposée sur la cathode (120). Les trous de la plaque agissent comme autant de microcanaux de limitation active du courant empêchant la densité de courant générale de dépasser le seuil de passage de régime d'effluve au régime d'arc. Il est ainsi possible de maintenir une décharge luminescente stable dans une large gamme de pressions d'utilisation et dans une large gamme de champs électriques, y compris des champs continus et à haute fréquence présentant des intensités variables. Dans un autre mode de réalisation, ce dispositif comporte un dispositif de décharge luminescente à plasma à courant alternatif dans lequel un diélectrique perforé est disposé sur une électrode. Ce diélectrique perforé peut être pourvu d'un ou de plusieurs trous ou capillaires.
Becker Kurt H.
Kunhardt Erich E.
R. William Wray & Associates
The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2007659