G - Physics – 01 – P
Patent
G - Physics
01
P
G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/12 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) G01P 15/18 (2006.01)
Patent
CA 2251957
The present invention is directed to a flexure transducer element which is used in an acceleration sensor for sensing an acceleration applied thereto. The flexure transducer element comprises (1) a frame, (2) a sheet member which has a plurality of flexible parts and a center part, (3) a weight which has a neck part integrally connected to the center part of the sheet member and which is hung from the sheet member through the neck part, and (4) a support member which supports the lower surface of the frame. The flexure transducer element is used for the semiconductor acceleration sensor in an automobile, aircraft or domestic electric appliance.
L'invention concerne un transducteur à flexion utilisé pour la détection d'une accélération appliquée, comprenant: (1) un cadre présentant une surface supérieure et une surface inférieure, (2) une feuille présentant une pluralité de parties flexibles et une partie centrale, les parties flexibles s'étendant entre au moins une partie du bord intérieur du cadre et la partie centrale, et étant reliées sans interruption audit bord et à ladite partie centrale, (3) un poids présentant une partie col reliée sans interruption à la partie centrale de la feuille, et accroché à ladite feuille par ladite partie col, et (4) un élément qui supporte la surface inférieure du cadre et dont la surface intérieure fait face à la surface latérale du poids avec un premier espace entre les deux. Un deuxième espace est relié sans interruption au premier espace, et défini entre les parties flexibles de la feuille et du poids. Un troisième espace est défini entre le cadre et la feuille et/ou à l'intérieur de la feuille. Le cadre et la feuille sont reliés l'un à l'autre et la feuille et le poids sont reliés l'un à l'autre de sorte que, lorsqu'une accélération est appliquée au transducteur, au moins deux parties flexibles sont déformées élastiquement et, par conséquent, le poids est déplacé par rapport au cadre. Le poids et l'élément support sont formés par un substrat semiconducteur. Le deuxième espace est formé par retrait d'une couche sacrificielle située dans le substrat semiconducteur. Le cadre et la feuille comprennent des couches épitaxiales prévues sur le substrat semiconducteur.
Ishida Takuro
Kamakura Masanao
Kasano Fumihiro
Nakamura Takuro
Oka Naomasa
Kirby Eades Gale Baker
Matsushita Electric Works Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1352583