Accelerometer

Details Accelerometer Accelerometer

G - Physics

01

P

G01P 15/125 (2006.01) G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/13 (2006.01)

Patent

CA 2397089

The accelerometer is linear having a substantially planar plate-like proof mass (9) mounted by four or more flexible mounting legs (8) each co-planar with the proof mass (9) to a substantially planar plate-like support (10) fixedly mounted relative to the proof mass (9) and co-planar therewith. In this way the proof mass (9) is mounted for linear movement in a sensing direction in the plane containing the proof mass (9), mounting legs (8) and support (10) to sense acceleration change applied to the accelerometer. At least two spaced apart substantially planar capacitor plates (11) each co- planar with the proof mass, mounting legs and support, are provided for sensing linear movement of the proof mass (9) in the sensing direction C. The proof mass (9), mounting legs (8), support (10) and capacitor blades (11) are formed from a single sheet of silicon and the mounting legs (8) extend substantially perpendicularly to the sensing direction C. Restoring means are provided for returning the proof mass (9) in the sensing direction C towards a null position.

L'invention concerne un accéléromètre linéaire présentant une masse étalon sensiblement plane du type plaque (9) montée au moyen d'au moins quatre branches de montage flexibles (8), chacune étant située sur le même plan que la masse étalon (9), sur un support sensiblement plan du type plaque (10) monté de manière fixe par rapport à la masse étalon (9) et étant situé sur le même plan que celle-ci. De cette manière, la masse étalon (9) est montée de manière à effectuer un mouvement linéaire dans un sens de détection dans le plan contenant la masse étalon (9), les branches de montage (8) et le support (10) en vue de détecter un changement d'accélération appliqué à l'accéléromètre. Au moins deux plaques de condensateur sensiblement planes, espacées l'une par rapport à l'autre (11), chacune étant située sur le même plan que la masse étalon, les branches de montage et le support, permettent de détecter un mouvement linéaire de la masse étalon (9) dans le sens de détection C. La masse étalon (9), les branches de montage (8), le support (10) et les plaques de condensateur (11) sont formés à partir d'une feuille de silicium unique et les branches de montages (8) s'étendent de manière sensiblement perpendiculaire au sens de détection C. Des moyens de rétablissement permettent de replacer la masse étalon (9) dans le sens de détection C vers une position nulle.

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