G - Physics – 02 – F
Patent
G - Physics
02
F
G02F 1/1333 (2006.01) C03C 17/245 (2006.01) C03C 17/34 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)
Patent
CA 2195115
Amorphous metal oxide barrier layers of titanium oxide, zirconium oxide and zinc/tin oxide are effective as alkali metal ion barrier layers at thicknesses below 180 Angstroms. The amorphous metal oxide barrier layers are most effective when the density of the layer is equal to or greater than 90% of the crystalline density. The barrier layers prevent migration of alkali metal ions such as sodium ions from glass substrates into a medium e.g. electrolyte of a photochromic cell, liquid material of a liquid crystal display device contacting the glass surface. The properties of the medium, particularly electroconductive metal oxide coatings, are susceptible to deterioration by the presence of sodium ions migrating from the glass. One technique to obtain the desired density of the barrier layers is to provide shields upstream and downstream of the cathode to limit the deposit of sputtered material to sputtered material traveling along a path generally normal to the surface being coated.
Couches-barrières amorphes d'oxyde métallique, notamment d'oxyde de titane, d'oxyde de zirconium et d'oxyde de zinc/étain, efficaces pour arrêter les ions de métaux alcalins lorsqu'elles ont une épaisseur inférieure à 180 angströms. Ces couches-barrières sont les plus efficaces lorsque leur densité est supérieure à 90 % de la densité cristalline. Elles empêchent la migration d'ions de métaux alcalins, comme les ions sodium, à partir de substrats en verre jusque dans un autre milieu, comme l'électrolyte d'une cellule photochrome ou encore la matière liquide d'un dispositif de visualisation à cristaux liquides en contact avec la surface de verre. Les propriétés du milieu, particulièrement les revêtements d'oxyde métallique électroconducteurs, peuvent s'altérer du fait de la présence d'ions sodium en migration à partir du verre. L'une des techniques pour obtenir la densité voulue pour les couches-barrières consiste à mettre en place des écrans en amont et en aval de la cathode de façon à limiter le dépôt de matière pulvérisée à celle qui se déplace le long d'un parcours généralement perpendiculaire à la surface recevant le revêtement.
Finley James J.
Gillery Howard F.
Ppg Industries Inc.
Ppg Industries Ohio Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1604325