An angular rate sensor

G - Physics – 01 – C

Patent

Rate now

  [ 0.00 ] – not rated yet Voters 0   Comments 0

Details

G01C 19/56 (2006.01)

Patent

CA 2338616

An angular rate sensor or gyro includes a ring-like resonator (1) mounted by support beams (2) extending from the inner periphery of the ring (1) to a boss (4) on a base (3). The support beams (2) are flexible and allow the resonator (1) to vibrate in response to electrostatic drive means (6, 8) in a substantially undamped oscillation mode to permit the resonator to move relative to the support means in response to turning rate. The support beams (2) and resonator (1) are made from crystalline silicon. Electrostatic sensing means (7, 9) are provided for sensing movement of the resonator (1). The drive means (6, 8) and sensing means (7, 9) have plate-like elements made from crystalline silicon having surfaces located substantially normal to the plane of the resonator (1) at a spacing from the adjacent outer periphery of the resonator (1). The ratio of the thickness of the resonator (1) at the outer periphery (1b) to the width of the spacing (11) between the periphery (1b) and the element surfaces (10) is in the range of from 10:1 to 40:1.

Cette invention se rapporte à un détecteur de vitesse angulaire ou gyromètre, qui comprend un résonateur en forme d'anneau (1) monté à l'aide de lames de support (2) s'étendant depuis le pourtour interne de l'anneau (1) sur un bossage (4) situé sur une base (3). Les lames de support (2) sont souples et permettent au résonateur (1) de vibrer en réponse à des commandes électrostatiques (6, 8) selon un mode oscillatoire essentiellement non amorti, pour que le résonateur puisse se déplacer par rapport aux lames de support en réponse à une vitesse de rotation. Les lames de support (2) et le résonateur (1) sont fabriqués en silicium cristallin. Des moyens de détection électrostatiques (7, 9) sont prévus pour détecter le mouvement du résonateur (1). Les commandes (6, 8) et les moyens de détection (7, 9) comportent des éléments en forme de plaques fabriqués en silicium cristallin et présentant des surfaces disposées selon une orientation essentiellement perpendiculaire au plan du résonateur (1) avec un espacement à partir du pourtour externe adjacent du résonateur (1). Le rapport entre l'épaisseur du résonateur (1) au niveau du pourtour externe (1b) et la largeur de l'espacement (11) entre le pourtour (1b) et les surfaces (10) des éléments en forme de plaques est compris entre 10/1 et 40/1.

LandOfFree

Say what you really think

Search LandOfFree.com for Canadian inventors and patents. Rate them and share your experience with other people.

Rating

An angular rate sensor does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.

If you have personal experience with An angular rate sensor, we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and An angular rate sensor will most certainly appreciate the feedback.

Rate now

     

Profile ID: LFCA-PAI-O-1604431

  Search
All data on this website is collected from public sources. Our data reflects the most accurate information available at the time of publication.