G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2338616
An angular rate sensor or gyro includes a ring-like resonator (1) mounted by support beams (2) extending from the inner periphery of the ring (1) to a boss (4) on a base (3). The support beams (2) are flexible and allow the resonator (1) to vibrate in response to electrostatic drive means (6, 8) in a substantially undamped oscillation mode to permit the resonator to move relative to the support means in response to turning rate. The support beams (2) and resonator (1) are made from crystalline silicon. Electrostatic sensing means (7, 9) are provided for sensing movement of the resonator (1). The drive means (6, 8) and sensing means (7, 9) have plate-like elements made from crystalline silicon having surfaces located substantially normal to the plane of the resonator (1) at a spacing from the adjacent outer periphery of the resonator (1). The ratio of the thickness of the resonator (1) at the outer periphery (1b) to the width of the spacing (11) between the periphery (1b) and the element surfaces (10) is in the range of from 10:1 to 40:1.
Cette invention se rapporte à un détecteur de vitesse angulaire ou gyromètre, qui comprend un résonateur en forme d'anneau (1) monté à l'aide de lames de support (2) s'étendant depuis le pourtour interne de l'anneau (1) sur un bossage (4) situé sur une base (3). Les lames de support (2) sont souples et permettent au résonateur (1) de vibrer en réponse à des commandes électrostatiques (6, 8) selon un mode oscillatoire essentiellement non amorti, pour que le résonateur puisse se déplacer par rapport aux lames de support en réponse à une vitesse de rotation. Les lames de support (2) et le résonateur (1) sont fabriqués en silicium cristallin. Des moyens de détection électrostatiques (7, 9) sont prévus pour détecter le mouvement du résonateur (1). Les commandes (6, 8) et les moyens de détection (7, 9) comportent des éléments en forme de plaques fabriqués en silicium cristallin et présentant des surfaces disposées selon une orientation essentiellement perpendiculaire au plan du résonateur (1) avec un espacement à partir du pourtour externe adjacent du résonateur (1). Le rapport entre l'épaisseur du résonateur (1) au niveau du pourtour externe (1b) et la largeur de l'espacement (11) entre le pourtour (1b) et les surfaces (10) des éléments en forme de plaques est compris entre 10/1 et 40/1.
Fell Christopher Paul
Hopkin Ian David
Townsend Kevin
Bae Systems Plc
Fetherstonhaugh & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1604431