H - Electricity – 05 – H
Patent
H - Electricity
05
H
H05H 1/50 (2006.01) C23C 14/40 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
Patent
CA 2205576
An apparatus for generation of a linear arc discharge for plasma processing, particularly for surface processing of solid substrates, installed in a reactor held at gas pressures below 5 x 104 Pa and powered by a generator of alternating current and/or pulsing power (10), and including: at least one pair of a first electrode plate (1) and a second electrode plate (2) placed opposite to each other at a distance exceeding 0.4 mm and connected to the same pole of the generator which has a counter pole connected to a counter electrode (3), a magnetic field produced by magnets (4) for development of a linear hot zone (5) on the first electrode plate and a linear hot zone (6) on the second electrode plate, having a component of at least 10-3 Tesla across the slit between these electrode plates, an ionized environment (7) containing a working gas (8) involved between the electrode plates and having electrical contact with the electrode plates where an arc discharge (9) is generated and with the counter electrode.
L'invention concerne un appareil pour produire une décharge en arc linéaire pour un traitement par plasma, en particulier pour le traitement de la surface de substrats solides, l'appareil étant installé dans une enceinte maintenue à une pression de gaz inférieure à 5 x 10<4> Pa, et par une source (10) de courant alternatif et/ou pulsé. L'appareil comprend au moins une paire de plaques électrodes, avec une première plaque électrode (1) et une seconde plaque électrode (2) se faisant face à une distance dépassant 0,4 mm, en étant reliées au même pôle du générateur, qui a un pôle opposé connecté à une contre-électrode (3). Des aimants (4) génèrent un flux magnétique d'au moins 10<-3> Tesla dans l'espace entre les plaques électrodes, pour produire une zone linéaire chaude (5) sur la première plaque électrode et une autre zone linéaire chaude (6) sur la seconde plaque électrode. Un milieu ionisé (7) contenant un gaz de travail (8) vient en contact électrique avec les plaques électrodes et il se produit une décharge en arc (9) avec la contre-électrode.
Barankova Hana
Bardos Ladislav
Cassan Maclean
Savcor Coatings Oy
Surfcoat Oy
LandOfFree
An apparatus for generation of a linear arc discharge for... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with An apparatus for generation of a linear arc discharge for..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and An apparatus for generation of a linear arc discharge for... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1609790