G - Physics – 01 – D
Patent
G - Physics
01
D
G01D 5/26 (2006.01) G01K 5/52 (2006.01) G01L 9/00 (2006.01)
Patent
CA 2332604
An optically addressed sensor system is described, which uses a Fabry-Pérot interferometer (4) to sense a measurand, by way of a cavity formed by (inter alia) a micromachined diaphragm (12), setting an optical path difference OPDS greater than the coherence length IC of a broadband optical source (1). The output is recovered by way of a further interferometer wiht a similar optical path difference OPDP. Thus, information is encoded in the wavelength domain, avoiding errors due to attenuation, loss, source variation etc. Suitable substrate arrangements are disclosed for the cavity which are suitable for mass production.
L'invention porte sur un système de détection à adressage optique recourant à un interféromètre de Fabry-Pérot (4) pour détecter une grandeur. On utilise à cet effet une cavité formée (notamment) par une membrane micro-usinée (12) pour établir une différence de parcours optique (OPS¿S?) supérieure à la longueur de cohérence l¿C? d'une source optique à large bande (1). Le signal de sortie est récupéré par un deuxième interféromètre présentant une différence de parcours optique (OPS¿P?) similaire. L'information est ainsi codée à l'intérieur du domaine de longueurs d'onde, ce qui évite les erreurs dues à l'atténuation, aux pertes, aux fluctuations de la source, etc. L'invention porte également sur des systèmes de substrats de cavités susceptibles d'être produits en masse.
De'ath James
Lu Yicheng
Mckenzie James Stuart
Pechstedt Ralf-Dieter
Bookham Technology Plc
De'ath James
Fetherstonhaugh & Co.
Lu Yicheng
Mckenzie James Stuart
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1837792